蠕動泵的應(yīng)用十分廣泛，如果你認(rèn)為只有在和流體相關(guān)的行業(yè)使用蠕動泵產(chǎn)品那就大錯特錯了，下面蠕動泵生產(chǎn)廠家思諾流體小編為大家詳細(xì)講解微型蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。
半導(dǎo)體制造要求始終控制工藝工具中的液體流動，苛刻的應(yīng)用之一是化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）。當(dāng)CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時，它會對產(chǎn)量，化學(xué)品使用和材料完整性產(chǎn)生極大的負(fù)面影響。晶圓厚度的變化，缺陷密度的增加，工具停機(jī)時間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導(dǎo)致的一些問題。
微型蠕動泵非常適合半導(dǎo)體行業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境，對于CMP，提供了在拋光過程中的使用點漿料流分配到晶片所需的線性和可重復(fù)性，低剪切力對CMP漿料溫和，其變速操作允許在很寬的操作范圍內(nèi)控制流量，以保持過程的完整性。
漿料的性能可實現(xiàn)的晶圓平面度，微型蠕動泵通過控制漿料輸送和分配，有助于實現(xiàn)這一目標(biāo)。小流量蠕動泵的非侵入式設(shè)計提供了直的流動路徑，沒有死流區(qū)域，使?jié){料凝聚，硬化并污染過程。流速達(dá)到±0.5％。提供的穩(wěn)定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊，還可減少漿料，化學(xué)品和去離子水的浪費。
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